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  • 超薄膜厚測試儀具體組成及作用解析
    20258-1

    超薄膜厚測試儀是一種用于精確測量納米級至微米級薄膜厚度的高精度儀器,廣泛應用于半導體、光學涂層、新能源材料、表面工程等領域。其組成結構通常包括硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)兩大部分,各模塊協(xié)同工作以實現(xiàn)高分辨率、高重復性的測量。一、超薄膜厚測試儀硬件系統(tǒng):1.光源模塊(核心激發(fā)源)組成:根據(jù)原理不同,可能采用激光(如氦氖激光、半導體激光器)、白光LED或氙燈等;部分設備配備可調節(jié)波長的單色儀,以適配不同材料的...

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